无尘烤箱的系统结构与功能

无尘烤箱是一种在洁净环境中进行高温处理的设备，广泛应用于电子、半导体、光伏、医药等行业，尤其对粉尘敏感的生产环节（芯片固化、精密元件烘烤）。其核心设计目标是确保加热过程中无污染物产生或进入腔体。以下是其系统结构与功能的详细说明：

一、系统结构

1.箱体结构

双层壳体设计

内胆：不锈钢，表面抛光处理减少积尘。

外层：钢板喷塑，中间填充保温材料，减少热损失。

密封性

门缝采用硅胶密封条，配合气压或机械锁紧装置，防止外部灰尘渗入。

所有接口采用密封法兰或过线孔设计。

2.空气循环系统

高效过滤系统

HEPA/ULPA过滤器：安装在进风口，过滤效率达99.97%以上。

预过滤器：前置中效过滤器，延长高效过滤器寿命。

风道设计

水平或垂直层流设计，确保腔内气流均匀。

离心风机或无刷电机驱动，低振动、低噪音。

3.加热系统

加热元件

电阻丝、石英加热管或红外加热模块，功率根据温区需求配置。

温度控制

PID智能控温，多温区独立控制，支持程序升温。

热电偶或PT100传感器实时监测温度。

4.排气与净化系统

废气处理

可选配活性炭过滤器或催化燃烧装置，处理挥发性有机物。

正压控制

通过调节进风量维持腔内微正压，防止外部污染侵入。

5.控制系统

人机界面

触摸屏或按键面板，设定温度、时间、风速等参数。

安全保护

超温报警、风机故障检测、门开关联锁、漏电保护等。

数据记录

可选配USB或RS485接口，记录温度曲线并导出。

6.辅助功能模块

真空选项：部分型号集成真空泵，用于无氧环境烘烤。

冷却系统：水冷或风冷装置，加速降温过程。

载物架：可拆卸托盘或网架，材质为不锈钢或特氟龙。

二、核心功能

1.无尘环境维持

通过HEPA过滤和正压设计，确保腔体内颗粒物浓度符合ISOClass5或更高标准。

2.精准温控

均匀度可达±2℃，满足精密工艺要求。

3.工艺适配性

支持多种烘烤曲线，适配固化、干燥、退火等不同需求。

4.安全与合规

符合防爆标准、电气安全认证，部分型号通过GMP验证。

5.低污染排放

内部材质及加热元件无析出，避免二次污染。

三、典型应用场景

电子行业：PCB板固化、LED芯片烘烤、OLED材料干燥。

半导体：晶圆去湿、光刻胶后烘。

医药：无菌包装材料灭菌、玻璃器皿烘干。

科研：纳米材料烧结、锂电池极片干燥。

四、选型关键参数

洁净度等级（如ISO146441Class5）

温度范围（室温~300℃/500℃）

有效容积（如100L~1000L）

升温速率（如5℃/min）

过滤器更换周期（通常6~12个月）

通过优化结构和功能设计，无尘烤箱在保证工艺效果的同时，显著提升了产品良率与一致性。实际选型需根据具体行业标准和工艺需求匹配。