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充氮隧道炉是一种在惰性氮气氛围中进行加热、干燥、烧结或热处理的工业设备,广泛应用于电子、光伏、锂电池、陶瓷等行业。其核心构造设计需确保氮气环境的稳定性和工艺的均匀性。以下是其主要构造组成及功能详解:
1.炉体结构
外壳:通常采用双层不锈钢结构,中间填充隔热材料(如陶瓷纤维),兼顾强度与保温性能。
内胆:耐高温材料(如310S不锈钢或陶瓷),直接接触高温及氮气环境,需耐腐蚀、抗氧化。
炉膛截面:根据工件形状设计为方形或圆形,确保气流均匀分布。
2.加热系统
加热元件:
电阻丝(如铁铬铝合金)、硅碳棒或红外加热管,布置在炉膛顶部/两侧。
分区控温(通常3~10区),每区独立PID调节,温度精度可达±1℃。
隔热层:多层陶瓷纤维或高铝砖,减少热损失,提高能效。
3.氮气系统
进气装置:
高纯氮气(99.999%)通过管道注入,入口设流量计和减压阀。
多通道设计,确保炉膛内各区域浓度均匀。
排气与循环:
废气经出口水冷装置快速冷却,防止氧气倒吸。
部分设备配备氮气循环风机,降低气体消耗。
氧含量监测:实时检测氧浓度(通常≤100ppm),超标时自动补氮。
4.传动系统
输送机构:
网带式(金属网带耐高温至1000℃)、辊道式(陶瓷辊)或链条式,根据负载选择。
变频调速电机控制传输速度(0.1~5m/min可调)。
密封结构:
进出口采用双帘氮气风幕或迷宫式密封,配合抽气装置维持微正压(10~50Pa)。
5.冷却段
水冷夹套:快速降温至工艺要求温度(如100℃以下),避免工件氧化。
缓冷区:自然冷却或强制风冷,防止热应力开裂。
6.控制系统
PLC/HMI:集成温度、氧含量、传动速度等参数监控,支持程序升温曲线。
安全联锁:超温、断气、停电自动启动应急氮气保护。
7.辅助结构
观察窗:耐高温玻璃,便于目视检查炉内状态。
应急泄压阀:防止炉内压力异常升高。
清洗接口:用于定期清除炉内挥发物残留。
设计关键点
气密性:所有焊缝及接口需氦检漏,确保漏率<1×10⁻⁶ Pa·m³/s。
气流动力学:通过CFD模拟优化氮气流向,避免死角。
能耗控制:余热回收系统可降低氮气加热成本。
不同行业(如锂电池极片干燥与电子元件烧结)的隧道炉会在细节上调整,例如锂电池炉可能增加溶剂回收装置,而电子炉则更注重超低氧控制(<10ppm)。实际选型需根据工艺需求定制。